Статьи автора

Способы синтеза, очистки и исследования состава гексафторэтана. Обзор

Номер выпуска 5 от 20.06.2025

В обзоре представлены литературные сведения о способах синтеза гексафторэтана, газообразного носителя фтора для травления кремния в промышленности полупроводников – каталитическое фторирование фторхлоруглеродов фторидом водорода; фторирование фтором, фторидами металлов переменной валентности, гексафторидом урана этана, этилена, фторэтанов, фторэтиленов, фторхлорэтанов и фторхлорэтиленов; фторирование углерода фтором; пиролиз перфторуглеродов; электрохимические методы. Представлены достоинства и недостатки указанных способов. Также рассмотрены способы очистки гексафторэтана от примесей, образующихся в процессе синтеза – декантация, нейтрализация, ректификация, адсорбция и др. Рассмотрены методы исследования состава гексафторэтана – газовая хроматография, спектральные методы, определение влажности и кислотности газа.

15 0