By this author

Methods for Synthesis, Purification, and Study of the Composition of Hexafluoroethan. Review

Issue number 5 from 20.06.2025

В обзоре представлены литературные сведения о способах синтеза гексафторэтана, газообразного носителя фтора для травления кремния в промышленности полупроводников – каталитическое фторирование фторхлоруглеродов фторидом водорода; фторирование фтором, фторидами металлов переменной валентности, гексафторидом урана этана, этилена, фторэтанов, фторэтиленов, фторхлорэтанов и фторхлорэтиленов; фторирование углерода фтором; пиролиз перфторуглеродов; электрохимические методы. Представлены достоинства и недостатки указанных способов. Также рассмотрены способы очистки гексафторэтана от примесей, образующихся в процессе синтеза – декантация, нейтрализация, ректификация, адсорбция и др. Рассмотрены методы исследования состава гексафторэтана – газовая хроматография, спектральные методы, определение влажности и кислотности газа.

16 0